ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線，動力節省30%，排氣溫度低，工藝穩定，此產品適用于各種領域的真空工藝，也維持了最佳的真空效率和耐用性。

ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。

優點特征︰

• 吸入效率(提升15%)。
• 排氣效率改善(2級可變，連續可變頻率)。
• 極限壓力︰1*10-2Torr(托)。
• 排氣溫度降低50%。
• 電力消耗減少30%。
• 不使用油和水，不會造成油和水的污染。
• 低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運行。
• 設計結構簡單，易保養，維修費用低，沒有易損件，壽命長。
• 適用範圍廣，具有高真空性能。
• 使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
• 不采用機械密封，密封部件無污染，不會因污染而頻繁發生故障。
• 前後采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。

標準配件︰

• 基座和防護罩
• 排氣消聲器及進氣分離器
• 吸氣口
• 止回閥
• 真空計

可選配件︰

• 吸濾器
• 排氣冷凝器
• 吸入式氣液分離器
• 流量開關及溫度開關

ESDP干式螺桿泵的應用範圍︰

• ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉澱(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。
• 在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
• 制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
• 化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
• 工業排氣;集中式真空處理系統
• 擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
• 混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物
• 食品行業用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

技術參數︰